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型 號
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GX-1050A
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GX-800A
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GX-900A
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GX1200A
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鍍膜室尺寸
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Ф1050×1250，304不鏽鋼。
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Ф800×1000
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Ф900×1050
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Ф1200×1250
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鍍膜腔內尺寸
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工裝夾具支架離地1580mm，適合人體工學的操作高度。
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工裝夾具支架離地1380mm，適合人體工學的操作高度。
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工裝夾具支架離地1410mm，適合人體工學的操作高度。
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1.拱型單工件盤，更大限度滿足客戶對均勻性的需要。旋轉3-35r/min，無級變速。
2.拱型三工件盤，行星公自轉，更大限度滿足客戶對生產量的需要。旋轉3-35r/min，無級變速。
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工裝夾具
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供型四片裝，支架傾角可調，更大限度滿足客戶對均勻性的需要。旋轉3-35r/min，無級變速。
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拱型單工件盤，更大限度滿足客戶對均勻性的需要。旋轉3-35r/min，無級變速。
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拱型單工件盤，更大限度滿足客戶對均勻性的需要。旋轉3-35r/min，無級變速。
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真空系統
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機組：擴散泵KT-600(創益），羅茨泵ZJ-300，機械泵2X-70，維持泵2X-8。管路為304不鏽鋼。
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機組：擴散泵KT-600（創益),羅茨泵ZJ-600,機械泵2X-70，維持泵2X-8。
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機組：擴散泵KT-600（創益），羅茨泵ZJ-600,機械泵2X-70，維持泵2X-8。
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機組：擴散泵KT-800（創益），羅茨泵ZJ-600,機械泵2X-70，維持泵2X-8。
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極限真空：優于4×10-4Pa。
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配置防湍流裝置，安全互鎖設計，手動，自動可選。
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加熱系統
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發熱管上加熱方式，PID控制，最高350℃±1.5℃。
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工作氣體充氣
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氣體質量流量控制儀器或手動微調充氣閥。
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真空電離轟擊
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直流3KV,06KW棒狀陰極（用於鍍膜前進行自行對工件清洗）。
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蒸發源（選配）
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1. TELEMARK-270°電子槍（進口），6KW、高壓4KV-10KV可調。定位掃描、三角波掃描、圓形掃描、螺旋掃描。束斑聚焦性好、定位精度高，掃描再現性好。
2.國產電子槍（奧普康）：6KW、高壓4 KV～8KV可調，可自由選擇三角波、正弦波、方波掃描。
3.坩堝：六穴Φ38×20坩堝或四穴Φ38×20加一穴中心弧長87的弧形坩堝（用於耗量大低熔點蒸發材料）或四穴Φ48×18坩堝。
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離子源（選配）
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1. RF（射頻型）離子源（進口）。
2. 5KVA霍爾離子源（奧普康），用於電鍍前清洗或電鍍過程進行輔助鍍，有利於提高膜層折射率，牢固度、提高膜層緻密性、附著力。
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膜厚控制系統（選型）
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1．MDC-360晶控器（進口）可儲存1～99層自動鍍膜過程，99種程序數據，精度0.5%+1?固定誤差。2TELEMARK-880晶控器（進口）：可儲存1～99層自動鍍膜過程、99種程序數據。精度0.5%+1?固定誤差。
3．TELEMARK-820光控器（進口）：採用多波長的全光譜終點分析技術，通過對監控片370-870㎜的透射率（或反射率）曲線分析來判定膜層終了。控制精度高，同時也可採用單波長控制、自動控制和手動控制。附加MACILEOD膜系計算軟件,一體化程度高。
4．TELEMARK-820光控器配合TELEMARK-880晶控器能滿足高精度、高重複性的鍍膜要求。與上位機配合可以實現全自動控制。
5．國產光控器（如9704型配套單色儀等）波長330～870可調，精度可達到±1.5nm。
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手操器
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帶磁底座，可安置在真空室門及控櫃任意位置。
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